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金相顯微鏡

產(chǎn)品型號(hào): MTM-6065H/MTM-6090H

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產(chǎn)品詳情

特點(diǎn):

測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,也可作三維輔助測(cè)量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點(diǎn):

1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向,保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定,提高了測(cè)量精度

3. X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運(yùn)行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測(cè)量

5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊

6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件,高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置,可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量

8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦

9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能

10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度


技術(shù)規(guī)格參數(shù):

型號(hào)
MTM-6065H
MTM-6090H
工作臺(tái)
玻璃臺(tái)尺寸(mm)
1070 x 640
1070 x 640
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)
600 x 650
600 x 900
Z軸行程(mm)
200
外形尺寸(mm)
1800 x 1350 x 1450
儀器重量(kg)
1300
1500
X、Y軸光柵尺分辨力(μm)
0.5
Z軸光柵尺分辨力(μm)
0.1
示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/200) μm  (L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差
包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源
可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/div>
底光照明光源
可調(diào)高亮度LED燈源

目視系統(tǒng)
影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)
5X、10X、20X、50X(可選配100X)
5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)
10X雙鏡筒
1/2”CCD攝像機(jī)
視頻總倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)


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